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從事科研儀器設(shè)備設(shè)計(jì)與制造

用工藝推動(dòng)設(shè)備的不斷迭代優(yōu)化

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大面積高精密勻膠機(jī)

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光刻是芯片制造中關(guān)鍵的步驟,也是微電子制造中復(fù)雜、昂貴和關(guān)鍵的工藝。光刻前道設(shè)備的自主研發(fā)和制造是中國(guó)芯片工業(yè)對(duì)產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)起攻堅(jiān)的突破口。
在線客服
產(chǎn)品詳情

SMC-Spin150i/200i/300i系列精密型勻膠機(jī)脫胎于實(shí)驗(yàn)室定制機(jī)型,它的旋轉(zhuǎn)及控制系統(tǒng)采用定制開(kāi)發(fā)的無(wú)刷/伺服電機(jī),結(jié)構(gòu)精密,制造嚴(yán)謹(jǐn)??刂葡到y(tǒng)相較普通的勻膠機(jī)升級(jí)為雙閉環(huán)PI轉(zhuǎn)速控制,同時(shí)檢測(cè)轉(zhuǎn)速和電流,加速度調(diào)節(jié)可控可信,通過(guò)消除靜態(tài)誤差,轉(zhuǎn)速真實(shí)準(zhǔn)確。在實(shí)際工藝中,轉(zhuǎn)速和加速度的小幅度調(diào)節(jié)都可以靈敏地反映在成膜厚度和質(zhì)量上。

它還裝備了自有專(zhuān)利的三重防堵機(jī)構(gòu),同時(shí)應(yīng)對(duì)膠液意外進(jìn)入真空系統(tǒng)和懸浮顆粒日積月累進(jìn)入電氣系統(tǒng)兩種情況。機(jī)構(gòu)濾芯更換快捷,易堵管路均為免開(kāi)殼清理設(shè)計(jì),方便用戶維護(hù)。

SMC-Spin150i/200i/300i系列在穩(wěn)定性和易用性上針對(duì)行業(yè)特點(diǎn)做了許多的優(yōu)化設(shè)計(jì),是科研以及小規(guī)模試驗(yàn)的上佳選擇。

產(chǎn)品特點(diǎn)

7寸工業(yè)全彩觸屏人機(jī)界面與高精度無(wú)刷電機(jī)

PP內(nèi)腔,PC透明蓋

數(shù)字化顯示真空吸附壓力

標(biāo)配漏膠過(guò)濾裝置、漏膠檢修接口和防堵膠功能

蓋子開(kāi)關(guān)安全個(gè)防護(hù)功能

標(biāo)配手持對(duì)中器

可升級(jí)帶光譜原位分析功能

可選配升級(jí)自動(dòng)滴膠裝置

技術(shù)參數(shù)

大面積高精密勻膠機(jī)
大面積高精密勻膠機(jī)

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SMC-Spin150i/200i/300i系列精密型勻膠機(jī)脫胎于實(shí)驗(yàn)室定制機(jī)型,它的旋轉(zhuǎn)及控制系統(tǒng)采用定制開(kāi)發(fā)的無(wú)刷/伺服電機(jī),結(jié)構(gòu)精密,制造嚴(yán)謹(jǐn)。控制系統(tǒng)相較普通的勻膠機(jī)升級(jí)為雙閉環(huán)PI轉(zhuǎn)速控制,同時(shí)檢測(cè)轉(zhuǎn)速和電流,加速度調(diào)節(jié)可控可信,通過(guò)消除靜態(tài)誤差,轉(zhuǎn)速真實(shí)準(zhǔn)確。在實(shí)際工藝中,轉(zhuǎn)速和加速度的小幅度調(diào)節(jié)都可以靈敏地反映在成膜厚度和質(zhì)量上。

它還裝備了自有專(zhuān)利的三重防堵機(jī)構(gòu),同時(shí)應(yīng)對(duì)膠液意外進(jìn)入真空系統(tǒng)和懸浮顆粒日積月累進(jìn)入電氣系統(tǒng)兩種情況。機(jī)構(gòu)濾芯更換快捷,易堵管路均為免開(kāi)殼清理設(shè)計(jì),方便用戶維護(hù)。

SMC-Spin150i/200i/300i系列在穩(wěn)定性和易用性上針對(duì)行業(yè)特點(diǎn)做了許多的優(yōu)化設(shè)計(jì),是科研以及小規(guī)模試驗(yàn)的上佳選擇。

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標(biāo)配漏膠過(guò)濾裝置、漏膠檢修接口和防堵膠功能

蓋子開(kāi)關(guān)安全個(gè)防護(hù)功能

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