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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
本手動(dòng)勻膠烤膠/顯定影機(jī)一體機(jī)主要功能:包括基片勻膠/顯影、烤膠/定影、排風(fēng)、黃光照明等功能，該設(shè)備一體化集成，可以對(duì) 8 英寸圓片(兼容 6 英寸圓片)基片加工，具備高轉(zhuǎn)速、高穩(wěn)定性、良好的溫度均勻性和精度控制等性能。
技術(shù)特點(diǎn)
本設(shè)備控制系統(tǒng)主要由 PLC 、觸摸屏構(gòu)成，運(yùn)行故障率低，可靠性高，操作簡(jiǎn)單， 易于維護(hù)；勻膠/顯定影主軸使用伺服電機(jī)，數(shù)字顯示及設(shè)定，精確控制轉(zhuǎn)速，勻膠/顯影及烤膠具備自動(dòng)頂升裝置，烘烤可以根據(jù)需求自由設(shè)定高度。
技術(shù)參數(shù)
| 勻膠模塊/顯定影模塊 | ||
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
| 1 | 作業(yè)模式 | 基片放置、 搬運(yùn)、取出為手動(dòng)方式， 勻膠及烘烤啟動(dòng)為手動(dòng)啟動(dòng)自動(dòng)運(yùn)行 |
| 2 | 加工基片 | 8 英寸圓形基片(兼容 6 英寸圓形基片) |
| 3 | 涂膠程序及儲(chǔ)存 | 可設(shè)置 10 組、 每組 50 步驟程序； 程序可保存、調(diào)用、修改、刪除 |
| 4 | 每步長(zhǎng)最小時(shí)間 | 0.1s |
| 5 | 操作面板 | 觸屏操作+按鍵 |
| 6 | 電機(jī) | 松下 A6 系列高速伺服電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器 |
| 7 | 轉(zhuǎn)速范圍 | 20 -5000rpm |
| 8 | 加速度范圍 | 250 -20000rpm/s |
| 9 | 轉(zhuǎn)速精度 | ≤±1rpm （50~5000rpm） |
| 10 | 轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm |
| 11 | 機(jī)身外殼材質(zhì) | 不銹鋼/鏡面/PP材質(zhì)可選 |
| 12 | 勻膠腔/顯定影腔 | 材質(zhì)： PP |
13 | 顯影臂 | 3 路管路（1 路正膠顯影、 1 路負(fù)膠顯影、 1 路 NMP），配備扇形和柱狀噴嘴， 流量可調(diào) （調(diào)整液體壓力） ， 噴嘴無(wú)氮?dú)饧訅?；供液方式?18L 壓力罐*3， 帶液位檢測(cè)；壓力罐放置液柜內(nèi)； |
定影臂 | 3 路管路（1 路 DIW， 1 路負(fù)膠清洗液、 1 路氮?dú)猓?，柱狀噴嘴，直?4mm(內(nèi)徑)， 流量可調(diào) （調(diào)整液體壓力），無(wú)氮?dú)饧訅海还┮悍绞剑?負(fù)膠清洗液 18L 壓力罐， 帶液位檢測(cè)；壓力罐放置液柜內(nèi)； 其他為廠務(wù)直供 | |
| 14 | 背洗裝置(可選） | 勻膠模塊和顯定影模塊均可選配，帶有流量計(jì)以及液位檢測(cè)裝置 |
| 15 | 真空托盤材質(zhì) | 聚四氟乙烯 |
| 16 | 真空托盤規(guī)格 | 提供 80mm 圓形真空托盤 |
| 17 | 定中裝置 | 配備定中裝置，自動(dòng)定中 |
| 18 | 控制系統(tǒng) | 專用操作軟件，終生提供升級(jí) |
| 烤膠模塊/烘烤模塊 | ||
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
| 1 | 熱板臺(tái)尺寸 | 230mm×230mm |
| 2 | 烘烤方式 | 常壓直接接觸或非接觸 |
| 3 | 加熱板材質(zhì) | 鋁合金陽(yáng)極氧化。 |
| 4 | 加熱步驟 | 與勻膠頭/顯影同時(shí)設(shè)定 |
| 5 | 操作面板 | 觸屏操作 |
| 6 | 溫控方式 | PID 溫度控制方式、高精度的溫度控制 |
| 7 | 溫控范圍 | 室溫～ 200℃ |
| 8 | 溫度分辨率 | 0.1℃ |
| 9 | 溫度精度 | ±0.5℃ |
| 10 | 烘烤時(shí)間 | 最大3000.0S， 時(shí)間到頂針自動(dòng)上升至設(shè)定高度 |
| 11 | 時(shí)間分辨率 | 0.1S |
| 12 | 面板熱均勻性 | 有效區(qū)域（210mm*210mm） ，±2℃ |
| 13 | 頂升功能 | 頂針高度 0 -30mm，任意可調(diào)，頂針高度分辨率：0.1mm 頂針帽材質(zhì)不會(huì)導(dǎo)致基片損傷(如雙面涂膠烘烤后頂針處會(huì)有輕微痕跡) |
| 15 | 帶溫度校準(zhǔn)功能 | 帶溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)功能 |
| 16 | 控制系統(tǒng) | 專用操作軟件，終生支持升級(jí) |
| 17 | 過(guò)溫保護(hù) | 設(shè)備帶有溫度過(guò)溫報(bào)警功能，且具備超溫一定溫度(超工藝上限溫度 10℃，可自行設(shè)定)自動(dòng)斷電功能； |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
本手動(dòng)勻膠烤膠/顯定影機(jī)一體機(jī)主要功能:包括基片勻膠/顯影、烤膠/定影、排風(fēng)、黃光照明等功能，該設(shè)備一體化集成，可以對(duì) 8 英寸圓片(兼容 6 英寸圓片)基片加工，具備高轉(zhuǎn)速、高穩(wěn)定性、良好的溫度均勻性和精度控制等性能。
技術(shù)特點(diǎn)
本設(shè)備控制系統(tǒng)主要由 PLC 、觸摸屏構(gòu)成，運(yùn)行故障率低，可靠性高，操作簡(jiǎn)單， 易于維護(hù)；勻膠/顯定影主軸使用伺服電機(jī)，數(shù)字顯示及設(shè)定，精確控制轉(zhuǎn)速，勻膠/顯影及烤膠具備自動(dòng)頂升裝置，烘烤可以根據(jù)需求自由設(shè)定高度。
技術(shù)參數(shù)
| 勻膠模塊/顯定影模塊 | ||
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
| 1 | 作業(yè)模式 | 基片放置、 搬運(yùn)、取出為手動(dòng)方式， 勻膠及烘烤啟動(dòng)為手動(dòng)啟動(dòng)自動(dòng)運(yùn)行 |
| 2 | 加工基片 | 8 英寸圓形基片(兼容 6 英寸圓形基片) |
| 3 | 涂膠程序及儲(chǔ)存 | 可設(shè)置 10 組、 每組 50 步驟程序； 程序可保存、調(diào)用、修改、刪除 |
| 4 | 每步長(zhǎng)最小時(shí)間 | 0.1s |
| 5 | 操作面板 | 觸屏操作+按鍵 |
| 6 | 電機(jī) | 松下 A6 系列高速伺服電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器 |
| 7 | 轉(zhuǎn)速范圍 | 20 -5000rpm |
| 8 | 加速度范圍 | 250 -20000rpm/s |
| 9 | 轉(zhuǎn)速精度 | ≤±1rpm （50~5000rpm） |
| 10 | 轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm |
| 11 | 機(jī)身外殼材質(zhì) | 不銹鋼/鏡面/PP材質(zhì)可選 |
| 12 | 勻膠腔/顯定影腔 | 材質(zhì)： PP |
13 | 顯影臂 | 3 路管路（1 路正膠顯影、 1 路負(fù)膠顯影、 1 路 NMP），配備扇形和柱狀噴嘴， 流量可調(diào) （調(diào)整液體壓力） ， 噴嘴無(wú)氮?dú)饧訅海还┮悍绞剑?18L 壓力罐*3， 帶液位檢測(cè)；壓力罐放置液柜內(nèi)； |
定影臂 | 3 路管路（1 路 DIW， 1 路負(fù)膠清洗液、 1 路氮?dú)猓?，柱狀噴嘴，直?4mm(內(nèi)徑)， 流量可調(diào) （調(diào)整液體壓力），無(wú)氮?dú)饧訅?；供液方式?負(fù)膠清洗液 18L 壓力罐， 帶液位檢測(cè)；壓力罐放置液柜內(nèi)； 其他為廠務(wù)直供 | |
| 14 | 背洗裝置(可選） | 勻膠模塊和顯定影模塊均可選配，帶有流量計(jì)以及液位檢測(cè)裝置 |
| 15 | 真空托盤材質(zhì) | 聚四氟乙烯 |
| 16 | 真空托盤規(guī)格 | 提供 80mm 圓形真空托盤 |
| 17 | 定中裝置 | 配備定中裝置，自動(dòng)定中 |
| 18 | 控制系統(tǒng) | 專用操作軟件，終生提供升級(jí) |
| 烤膠模塊/烘烤模塊 | ||
| 序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
| 1 | 熱板臺(tái)尺寸 | 230mm×230mm |
| 2 | 烘烤方式 | 常壓直接接觸或非接觸 |
| 3 | 加熱板材質(zhì) | 鋁合金陽(yáng)極氧化。 |
| 4 | 加熱步驟 | 與勻膠頭/顯影同時(shí)設(shè)定 |
| 5 | 操作面板 | 觸屏操作 |
| 6 | 溫控方式 | PID 溫度控制方式、高精度的溫度控制 |
| 7 | 溫控范圍 | 室溫～ 200℃ |
| 8 | 溫度分辨率 | 0.1℃ |
| 9 | 溫度精度 | ±0.5℃ |
| 10 | 烘烤時(shí)間 | 最大3000.0S， 時(shí)間到頂針自動(dòng)上升至設(shè)定高度 |
| 11 | 時(shí)間分辨率 | 0.1S |
| 12 | 面板熱均勻性 | 有效區(qū)域（210mm*210mm） ，±2℃ |
| 13 | 頂升功能 | 頂針高度 0 -30mm，任意可調(diào)，頂針高度分辨率：0.1mm 頂針帽材質(zhì)不會(huì)導(dǎo)致基片損傷(如雙面涂膠烘烤后頂針處會(huì)有輕微痕跡) |
| 15 | 帶溫度校準(zhǔn)功能 | 帶溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)功能 |
| 16 | 控制系統(tǒng) | 專用操作軟件，終生支持升級(jí) |
| 17 | 過(guò)溫保護(hù) | 設(shè)備帶有溫度過(guò)溫報(bào)警功能，且具備超溫一定溫度(超工藝上限溫度 10℃，可自行設(shè)定)自動(dòng)斷電功能； |
