大面積定制刮涂系統(tǒng)

歷經(jīng)多年的耕耘，紀澤萬家形成了豐富而有競爭力的產(chǎn)品體系，其中PVD、PECVD、CVD、氧化/擴散爐、清洗機及氣體質(zhì)量流量控制器等品類廣泛應(yīng)用于集成電路及泛半導(dǎo)體、太陽能電池、材料熱處理、新能源及航空航天等領(lǐng)域。

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產(chǎn)品詳情

該涂布設(shè)備用于在不同的基材上制備薄膜。對于薄膜制備實驗，科研人員通常要應(yīng)對各種性質(zhì)不同的溶液，并涂布出各種厚度的薄膜獲取數(shù)據(jù)或改進工藝。此時，多次同參數(shù)涂布制備出的試片批次內(nèi)一致性和批次間的重復(fù)性決定實驗結(jié)果的準確與否。本設(shè)備可以精密調(diào)節(jié)涂膜時間隙大小，涂布速度等參數(shù)，利用光柵尺、位移傳感器等閉環(huán)反饋手段還能保證每次實驗時再現(xiàn)同樣的條件，極大程度清除回轉(zhuǎn)空程、傳動背隙、熱膨脹等不穩(wěn)定因素帶來的誤差，得到較佳實驗效果，提高科研效率。

技術(shù)參數(shù)

工業(yè)全彩觸屏友好人機界面，操作簡便

304高精度研磨面板，自帶真空吸附和氣動反吹取片功能

高精度直線電機系統(tǒng)，精準控制速率

配備高精度標準線棒/光軸

帶FFU排風功能，保證內(nèi)部空氣有效循環(huán)流通

最大可容納基片尺寸：450*650mm

平臺平整度：＜10um

運動平面度：＜10um

刮刀升降分辨率：0.01mm

刮涂速度：1-1000mm/s

風刀系統(tǒng)：均勻出風，氣源接口適用6*4mm氣管