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從事科研儀器設(shè)備設(shè)計(jì)與制造

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高精密低溫勻膠機(jī)

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歷經(jīng)多年的耕耘,紀(jì)澤萬家形成了豐富而有競爭力的產(chǎn)品體系,其中PVD、PECVD、CVD、氧化/擴(kuò)散爐、清洗機(jī)及氣體質(zhì)量流量控制器等品類廣泛應(yīng)用于集成電路及泛半導(dǎo)體、太陽能電池、材料熱處理、新能源及航空航天等領(lǐng)域。
在線客服
產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品介紹

PvS-LT5低溫氛圍旋涂儀,是我司繼加熱旋涂,光譜旋涂,卡槽真空雙路旋涂后,為鈣鈦礦科研定制化開發(fā)的一款新型儀器。本機(jī)契合了科研人員在低溫下進(jìn)行鈣鈦礦層旋涂,通過改變材料溫度優(yōu)化現(xiàn)有工藝的需求。在儀器開發(fā)試驗(yàn)的對比案例中,本旋涂儀制備的鈣鈦礦薄膜相較傳統(tǒng)設(shè)備制備的在結(jié)構(gòu)和形貌表征上都有明顯變化。

PvS-LT5在設(shè)計(jì)上兼顧了氣氛、溶液、基底片材的低溫要求,通過各種腔體設(shè)置保證薄膜制備過程中溶液溫度的穩(wěn)定性和一致性。本機(jī)低溫可調(diào)可控,顯示精度優(yōu)于0.1℃;同時配備了不銹鋼金屬內(nèi)襯,方便清理的前提下兼顧了導(dǎo)熱效率。

產(chǎn)品特點(diǎn)

4.3寸工業(yè)全彩觸屏人機(jī)界面與高精度無刷電機(jī)

PP內(nèi)腔,耐腐蝕透明蓋

真空吸附壓力保護(hù)

可處理基片范圍:小于10mm碎片至3寸圓形底物

可選配升級自動滴膠裝置

技術(shù)參數(shù)

轉(zhuǎn)速范圍 100-12000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率 1rpm

加速度可調(diào)范圍100-30000rpm/s

最大單步時長 3000s

時間分辨率 0.1s

配方功能 最大100組配方存貯

單步和多步旋涂功能 多步支持10步程序

標(biāo)配兩種真空載物盤(支持定制) 10mm、20mm

溫度范圍 室溫至-5℃

溫度分辨率 0.1℃

磁力攪拌 標(biāo)配低溫磁力攪拌,速度可調(diào)

設(shè)備總重量 機(jī)器11千克+電源3千克

旋涂電源輸入 寬電壓輸入220-240VAC

制冷電源 寬電壓輸入220-240VAC 350W

旋涂外形尺寸 210mm(W)*270mm(D)*270mm(H)

制冷電源尺寸 180mm(W)*300mm(D)*160mm(H)

氣泵參數(shù) 220VAC/負(fù)壓范圍0~-80kPa

氣泵尺寸 270mm(L)*110mm(W)*155mm(H)

高精密低溫勻膠機(jī)高精密低溫勻膠機(jī)
高精密低溫勻膠機(jī)
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PvS-LT5低溫氛圍旋涂儀,是我司繼加熱旋涂,光譜旋涂,卡槽真空雙路旋涂后,為鈣鈦礦科研定制化開發(fā)的一款新型儀器。本機(jī)契合了科研人員在低溫下進(jìn)行鈣鈦礦層旋涂,通過改變材料溫度優(yōu)化現(xiàn)有工藝的需求。在儀器開發(fā)試驗(yàn)的對比案例中,本旋涂儀制備的鈣鈦礦薄膜相較傳統(tǒng)設(shè)備制備的在結(jié)構(gòu)和形貌表征上都有明顯變化。

PvS-LT5在設(shè)計(jì)上兼顧了氣氛、溶液、基底片材的低溫要求,通過各種腔體設(shè)置保證薄膜制備過程中溶液溫度的穩(wěn)定性和一致性。本機(jī)低溫可調(diào)可控,顯示精度優(yōu)于0.1℃;同時配備了不銹鋼金屬內(nèi)襯,方便清理的前提下兼顧了導(dǎo)熱效率。

產(chǎn)品特點(diǎn)

4.3寸工業(yè)全彩觸屏人機(jī)界面與高精度無刷電機(jī)

PP內(nèi)腔,耐腐蝕透明蓋

真空吸附壓力保護(hù)

可處理基片范圍:小于10mm碎片至3寸圓形底物

可選配升級自動滴膠裝置

技術(shù)參數(shù)

轉(zhuǎn)速范圍 100-12000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率 1rpm

加速度可調(diào)范圍100-30000rpm/s

最大單步時長 3000s

時間分辨率 0.1s

配方功能 最大100組配方存貯

單步和多步旋涂功能 多步支持10步程序

標(biāo)配兩種真空載物盤(支持定制) 10mm、20mm

溫度范圍 室溫至-5℃

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磁力攪拌 標(biāo)配低溫磁力攪拌,速度可調(diào)

設(shè)備總重量 機(jī)器11千克+電源3千克

旋涂電源輸入 寬電壓輸入220-240VAC

制冷電源 寬電壓輸入220-240VAC 350W

旋涂外形尺寸 210mm(W)*270mm(D)*270mm(H)

制冷電源尺寸 180mm(W)*300mm(D)*160mm(H)

氣泵參數(shù) 220VAC/負(fù)壓范圍0~-80kPa

氣泵尺寸 270mm(L)*110mm(W)*155mm(H)

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